Технологический контроль в микроэлектронике

Предлагаются приборы для эмиссионных актинометрических измерений концентрации активных частиц в плазмохимических процессах.

Приборы отличаются высоким быстродействием, высоким спектральным разрешением, а также позволяют оптимизировать технологические процессы в микро- и наноэлектронике, при нанесении сверхпрочных покрытий.